[实用新型]真空电子束对辊镀膜装置有效
| 申请号： | 201822038582.9 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN209144246U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邹宇;赖奇;廖先杰;刘翘楚;肖传海;彭富昌;钟璨宇;江思媛;范立男 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 许泽伟 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空电子束对辊镀膜装置，包括电子束炉，前置真空室和后置真空室，所述前置真空室连通在电子束炉的进口端，后置真空室连通在电子束炉的出口端；所述电子束炉由至少一个工作腔组成，每个工作腔内设有至少一把电子枪；后置真空室内可转动设置至少一对对辊，镀膜后的工件从对辊中间通过。本实用新型在镀膜完成后利用对辊对工件表面进行压制，进一步提高了镀膜层与工件结合的紧密度，同时提高了镀膜层表面质量与平整度，便于进行后续加工生产。 | ||
| 搜索关键词： | 对辊 电子束炉 真空室 后置 本实用新型 真空电子束 镀膜装置 镀膜层 工作腔 镀膜 前置 连通 可转动设置 工件表面 后续加工 出口端 电子枪 进口端 平整度 压制 室内 生产 | ||
【主权项】：
1.真空电子束对辊镀膜装置，其特征在于：包括电子束炉(1)，前置真空室(2)和后置真空室(3)，所述前置真空室(2)连通在电子束炉(1)的进口端，后置真空室(3)连通在电子束炉(1)的出口端；所述电子束炉(1)由至少一个工作腔(11)组成，每个工作腔(11)内设有至少一把电子枪(12)；所述后置真空室(3)内可转动设置至少一对对辊(7)，镀膜后的工件(6)从对辊(7)中间通过。
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