[实用新型]一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片有效
| 申请号： | 201822038744.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN209651892U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王新亮;黄鹏;龚巍;樊凡;马硕;温赛赛;胡慧珊 | 申请（专利权）人： | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李明<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片，包括：硅基衬底，依次设置于硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于钝化层的上表面的加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于钝化层上，加热电极和测量电极围绕形成用于微观原位观察的观察区域；贯穿设置于硅基衬底与支撑层中的隔热空腔，隔热空腔的上表面在垂直于硅基衬底的方向上对应观察区域。上述加热芯片通过采用钝化层来保护加热电极与测量电极，使加热过程中电阻更加稳定，温度可加热到1000度以上，有效隔绝气体和液体，避免电极在加热过程中挥发污染测试的样品，使加热芯片加热温度高且加热稳定、污染小，进而满足SEM或TEM进行微观原位观察的测检测要求。 | ||
| 搜索关键词： | 测量电极 加热电极 钝化层 硅基衬 加热芯片 原位观察 隔热空腔 观察区域 加热过程 微观 上表面 支撑层 加热 本实用新型 挥发污染 绝缘设置 依次设置 电极 可加热 电阻 同层 垂直 测试 贯穿 检测 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片，其特征在于，包括：硅基衬底，依次设置于所述硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于所述钝化层的上表面的加热电极和测量电极，所述加热电极和所述测量电极同层绝缘设置且均位于所述钝化层上，所述加热电极和所述测量电极围绕形成用于微观原位观察的观察区域；贯穿设置于所述硅基衬底与所述支撑层中的隔热空腔，所述隔热空腔的上表面在垂直于所述硅基衬底的方向上对应所述观察区域。/n
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