[实用新型]气体前处理装置及回收氢气检测装置

摘要

本实用新型涉及气体分离净化设备技术领域，尤其是涉及一种气体前处理装置及回收氢气检测装置。其包括壳体、第一端盖和第二端盖，壳体的内部设置有用于吸附氯化氢和氯硅烷的吸附介质，壳体的一端与第一端盖连接，壳体的另一端与第二端盖连接，第一端盖设置有进口，进口设置有进气阀，第二端盖设置有出口，出口用于与气相色谱仪的进样口连通，出口设置有出气阀；第一端盖设置有置换气进气管，置换气进气管设置有置换气进口阀，第二端盖设置有置换气出气管，置换气出气管设置有置换气出口阀。本实用新型能够保证色谱柱有效，气路管线畅通，提高了安全性。同时，保证在进样过程中不引入杂质组分，从而保证检测结果的准确性。

主权项

1.一种气体前处理装置，其特征在于，包括壳体、第一端盖和第二端盖，所述壳体的内部设置有用于吸附氯化氢和氯硅烷的吸附介质，所述壳体的一端与所述第一端盖连接，所述壳体的另一端与所述第二端盖连接，所述第一端盖设置有进口，所述进口设置有进气阀，所述第二端盖设置有出口，所述出口用于与气相色谱仪的进样口连通，所述出口设置有出气阀；所述第一端盖设置有置换气进气管，所述置换气进气管设置有置换气进口阀，所述第二端盖设置有置换气出气管，所述置换气出气管设置有置换气出口阀。