[实用新型]一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置

摘要

本实用新型公开了一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，通过处于偏振光路中的纯相位空间光调制器生成不同空间频率与PV值的中频误差相位分布，来对入射光场进行相位调制，实现中频误差的衍射成像，并由采样相机完成衍射光斑数据的快速采集。本装置能够解决中频误差光学元件样品加工困难、无法大量制作、衍射光斑采集过程中需要不断更换样品和进行位置调节的问题，实现不同空间频率与PV值的中频误差衍射光斑数据集的快速生成，从而为中频误差的衍射分析、检测等后续研究提供大量的有效数据。

主权项

1.一种光学元件中频误差衍射光斑数据集生成装置，其特征在于，包括激光器(1)、空间滤波器(2)、扩束镜(3)、线偏振器(4)、检偏器(5)、分束镜(6)、空间光调制器(8)、望远镜成像系统(9)和成像相机(10)；所述激光器(1)、空间滤波器(2)、扩束镜(3)、线偏振器(4)、分束镜(6)沿光路方向依次水平布置，构成入射光路；所述空间光调制器(8)、分束镜(6)、检偏器(5)、望远镜成像系统(9)、成像相机(10)沿垂直于入射光路的方向依次水平布置，构成反射光路；所述线偏振器(4)与检偏器(5)的偏振方向与空间光调制器(8)的液晶单元长轴方向一致；所述空间光调制器(8)的输入为不同中频误差相位分布灰度图；所述成像相机(10)用于接收不同中频误差的衍射光斑分布图。