[实用新型]一种高灵敏度动态可调的并行波导结构有效
| 申请号： | 201822045601.0 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN208999589U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海纪仑华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201604 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高灵敏度动态可调的并行波导结构，包括狭缝波导结构和调控单元，应用电致伸缩结构调节狭缝波导中缝隙的宽度，进而调节波导中传播的表面等离激元模式。因为电致伸缩材料具有在电场作用下，伸缩非常敏感的特性，所以该波导结构具有高灵敏度动态调节狭缝中表面等离激元模式的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 波导结构 高灵敏度 表面等离激元 动态可调 狭缝波导 并行 电致伸缩材料 本实用新型 电场作用 电致伸缩 调控单元 动态调节 结构调节 伸缩 波导 狭缝 敏感 传播 应用 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏度动态可调的并行波导结构，其特征在于：所述并行波导结构包括高折射率顶板(1)、低折射率介质(2)、金属凸起线(3)、上层金属薄膜(4)、下层金属薄膜(5)、电致伸缩结构(6)、绝缘层(7)、衬底(8)，上层金属薄膜(4)和绝缘层(7)开有条形槽，金属凸起线(3)和电致伸缩结构(6)置于条形槽中，金属凸起线(3)位于电致伸缩结构(6)的上部并与电致伸缩结构(6)连接、且金属凸起线(3)与上层金属薄膜(4)连接，绝缘层(7)和电致伸缩结构(6)置于下层金属薄膜(5)上，高折射率顶板(1)、低折射率介质(2)和金属凸起线(3)构成狭缝波导结构，狭缝波导结构按照水平方向周期排列，金属凸起线(3)、上层金属薄膜(4)、下层金属薄膜(5)、电致伸缩结构(6)、绝缘层(7)构成调控单元，调控单元按照与狭缝波导结构相同的周期水平方向排列。
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