[实用新型]一种耦合型沟槽波导结构有效
| 申请号： | 201822046035.5 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209055680U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州雷目电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 陈思聪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种耦合型沟槽波导结构，该波导结构包括波导层和衬底，波导层包括薄膜和在薄膜上的沟槽波导，该波导结构还包括在沟槽波导底部、与沟槽波导隔离的调控腔，调控腔内填充调控材料。引入了调控腔，通过沟槽中的表面等离激元与调控腔的耦合，进一步将表面等离激元限制在沟槽波导的底部，减小了波导中表面等离激元的模式面积；在调控腔中引入调控材料，特别是热敏材料，通过改变温度，改变调控材料的折射率，调控波导中传播的表面等离激元与调控腔的耦合，从而调控沟槽波导中的模式，实现了沟槽波导中表面等离激元模式的动态可调。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽波导 调控 表面等离激元 波导结构 耦合 波导层 耦合型 波导 薄膜 本实用新型 动态可调 腔内填充 热敏材料 折射率 引入 衬底 减小 隔离 传播 | ||
【主权项】：
1.一种耦合型沟槽波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)包括薄膜和在薄膜上的沟槽波导(3)，其特征在于：还包括在沟槽波导(3)底部、与沟槽波导(3)隔离的调控腔(4)，调控腔(4)内填充调控材料。
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