[实用新型]一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具有效
| 申请号： | 201822046164.4 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209261999U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 谢燕;刘勇;童严;时尧成;戴道锌 | 申请（专利权）人： | 苏州天步光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16B11/00 | 分类号： | F16B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；水平调节模块放置在上盖上表面；C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。本实用新型一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，能有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 上盖 光分路器 夹具 晶圆承载台 底座导轨 水平调节 贴片加工 真空吸盘 导柱 本实用新型 弯折支架 下压螺杆 真空导管 支架底座 上盖上表面 模块放置 有效控制 均匀性 下表面 盖板 导孔 嵌入 承载 | ||
【主权项】：
1.一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；所述C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；所述晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；所述上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；所述水平调节模块放置在上盖上表面；所述C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。
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