[实用新型]一种双台面激光直写式曝光机

摘要

本实用新型提供了一种双台面激光直写式曝光机，提升了设备利用率,减少了设备各系统的工作的空闲时间,从而有效提升了曝光机的产能，包括底座和通过龙门机构顺序设置在底座上的对位机构、曝光机构，在底座上设置有两个步进轴运动组件，两个步进轴运动组件一上一下相互错开设置成两层，步进轴运动组件连接有基板承载台面用于承载基板，步进轴运动组件能够带动基板承载台面前后移动经过对位机构、曝光机构进行对位和曝光；对位机构包括安装在龙门机构上的对位轴运动组件、第一Z轴运动组件、对位系统，曝光机构包括安装在龙门机构上的扫描轴运动组件、第二Z轴运动组件、曝光系统。

主权项

1.一种双台面激光直写式曝光机，包括底座和通过龙门机构顺序设置在所述底座上的对位机构、曝光机构，其特征在于：在所述底座上设置有两个步进轴运动组件，两个所述步进轴运动组件一上一下相互错开设置成两层，所述步进轴运动组件上分别安装有基板承载台面，所述基板承载台面用于承载基板，所述步进轴运动组件分别能够带动所述基板承载台面前后移动经过所述对位机构、曝光机构；所述对位机构包括安装在龙门机构上的对位轴运动组件，所述对位轴运动组件包括滑块和直线导轨，滑块通过驱动装置驱动沿所述直线导轨移动，所述滑块上设置有第一Z轴运动组件，所述第一Z轴运动组件上设有对位系统，所述滑块能够带动所述对位系统沿所述直线导轨移动，所述第一Z轴运动组件能够带动所述对位系统上下移动使得焦面对准；所述曝光机构包括安装在所述龙门机构上的扫描轴运动组件，所述扫描轴运动组件包括滑块和直线导轨，滑块通过驱动装置驱动沿所述直线导轨移动，所述滑块上设置有第二Z轴运动组件，所述第二Z轴运动组件上设有曝光系统，所述滑块能够带动所述曝光系统沿所述直线导轨移动，所述第二Z轴运动组件能够带动所述曝光系统上下移动使得曝光焦面对准。