[实用新型]改良喷嘴头的沉积系统

摘要

本实用新型提供一种改良喷嘴头的沉积系统包括反应腔室、承载部、加热器、气体分配组件、化学物质传递模块、及热交换模块。承载部配置于反应腔室内，具有与反应腔室连接的支撑基座、及用以承载衬底的载盘；加热器配置于载盘下方，用以对衬底加热；气体分配组件配置在相对于承载部上方，包括多個第一喷头主体及多個第二喷头主体，每一第一喷头主体具有延伸穿过第一喷头主体的第一气体通道及喷嘴头，每一第二喷头主体具有延伸穿过第二喷头主体的第二气体通道及喷嘴头；化学物质传递模块与第一气体信道及第二气体信道连接，以将化学物质传递至反应腔室；热交换模块连接至反应腔室的壁及气体分配组件，用于调控反应腔室及气体分配组件的温度。

主权项

1.一种改良喷嘴头的沉积系统，其特征在于，包括：反应腔室；承载部，配置于所述反应腔室内，具有与所述反应腔室连接的支撑基座、及用以承载衬底的载盘；加热器，配置于所述载盘下方，用以对所述衬底加热；气体分配组件，配置在相对于所述承载部上方，包括多个第一喷头主体及多个第二喷头主体，每一所述第一喷头主体具有延伸穿过所述第一喷头主体的第一气体通道及所述喷嘴头，每一所述第二喷头主体具有延伸穿过所述第二喷头主体的第二气体通道及所述喷嘴头；化学物质传递模块，其与所述第一气体通道及所述第二气体通道连接，以将化学物质传递至所述反应腔室；以及热交换模块，连接至所述反应腔室的壁及所述气体分配组件，用于调控所述反应腔室及所述气体分配组件的温度。