[实用新型]石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备

摘要

本实用新型提供一种石墨舟及管式PECVD设备，涉及太阳能电池镀膜领域，石墨舟包括沿上下方向间隔设置的多个水平放置的石墨舟片，每一石墨舟片上设有至少一个用以固定硅片的镂空部；在将硅片固定于镂空部后，一方面，位于石墨舟内的每一硅片的正面以及背面均无遮挡，在镀膜时，等离子体可分别沉积在硅片的正面以及背面，实现硅片的正面及背面同时镀膜，降低了镀膜时间，能够提高产能；同时，相较于现有的石墨舟，本实用新型中的石墨舟对硅片镀膜时，不需要进行翻片处理，可以有效减少多次插硅片对硅片的边缘造成的擦伤；另一方面，硅片呈水平放置，在进行等离子体沉积的时候，减少因重力因素导致硅片上下两端沉积的膜厚不同造成的镀膜色差。

主权项

1.一种石墨舟，用于双面镀膜，其特征在于：所述石墨舟包括沿上下方向间隔设置的多个水平放置的石墨舟片，每一所述石墨舟片上设有至少一个用以固定硅片的镂空部；每一所述镂空部的内周缘设有用于固定硅片的固定台，所述固定台为自所述镂空部的上周缘向下且向所述镂空部的中心倾斜延伸形成，所述固定台的倾斜角度为15°-75°。/n