[实用新型]一种适宜双列直插型器件键合夹具有效
| 申请号： | 201822059101.2 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN209150059U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 房迪 | 申请（专利权）人： | 贵州振华风光半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 | 代理人： | 刘安宁 |
| 地址： | 550000 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种适宜双列直插型器件键合夹具，具有原有自动键合机键合半导体产品定位键合夹具的支撑座(1)、产品底座(2)和右侧立板(3)，产品底座(2)上开有真空孔(4)；其特征在于它增加一个的稳定产品的装置，具体做法是：在右侧立板(3)附件适当位置开有一个圆柱形孔洞(5)，在孔洞(5)中插入一端带有挡板(7)的圆棍(6)，其一端作为推杆，圆棍(6)中部有螺旋通孔，圆棍(6)另一端套有一个弹簧圈(8)；其挡板卡(7)住双列直插型产品(9)边缘。本键合夹具制作工艺简单、定位准确，既能有效稳定产品、又能方便快捷取下产品，提高产品质量的同时还能提高工作效率。适用于双列直插型器件键合。 | ||
| 搜索关键词： | 双列直插型 夹具 器件键合 圆棍 产品底座 稳定产品 右侧立板 弹簧圈 孔洞 推杆 半导体产品 圆柱形孔洞 定位准确 工作效率 键合夹具 螺旋通孔 适当位置 制作工艺 自动键合 挡板 挡板卡 定位键 真空孔 支撑座 取下 | ||
【主权项】：
1.一种适宜双列直插型器件键合夹具，具有原有自动键合机键合半导体产品定位键合夹具的支撑座(1)、产品底座(2)和右侧立板(3)，产品底座(2)上开有真空孔(4)；其特征在于它增加一个的稳定产品的装置，具体做法是：在右侧立板(3)附件适当位置开有一个圆柱形孔洞(5)，在孔洞(5)中插入一端带有挡板(7)的圆棍(6)，其一端作为推杆，圆棍(6)中部有螺旋通孔，圆棍(6)另一端套有一个弹簧圈(8)；其挡板(7) 卡住双列直插型产品(9)边缘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
