[实用新型]气体稀释装置有效
| 申请号： | 201822059186.4 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN209254526U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种气体稀释装置，气体稀释装置设置于间歇性排放待稀释气体的生产设备上；生产设备设有排放待稀释气体的排气管路；气体稀释装置包括：稀释气体供给源；用于向排气管路供给稀释气体的供气管路，连接稀释气体供给源和排气管路；用于监测生产设备中待稀释气体的排放状态并在生产设备排放待稀释气体时控制供气管路向排气管路供给稀释气体的供气控制模块，连接生产设备和供气管路。本实用新型通过引入稀释气体供给源、供气管路和供气控制模块，根据生产设备排放状态，实时控制稀释气体供给，降低了生产成本；通过引入联锁模块，实现了对稀释气体供给状态的实时监控，在供给状态异常时及时停机报警，确保安全生产。 | ||
| 搜索关键词： | 稀释气体 生产设备 供气管路 排气管路 气体稀释 供给源 本实用新型 供给状态 供气控制 排放状态 排放 联锁模块 连接生产 确保安全 实时监控 实时控制 装置设置 间歇性 引入 停机 生产成本 报警 监测 生产 | ||
【主权项】：
1.一种气体稀释装置，其特征在于，所述气体稀释装置设置于间歇性排放待稀释气体的生产设备上；所述生产设备设有向外界排放所述待稀释气体的排气管路；所述气体稀释装置包括：用于供给稀释气体的稀释气体供给源；用于向所述排气管路供给所述稀释气体的供气管路，一端连接所述稀释气体供给源，另一端连接所述排气管路；用于监测所述生产设备中所述待稀释气体的排放状态并在所述生产设备排放待稀释气体时控制所述供气管路向所述排气管路供给所述稀释气体的供气控制模块，连接所述生产设备和所述供气管路。
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