[实用新型]一种溅射靶材输送箱

摘要

本实用新型公开了一种溅射靶材输送箱，涉及输送箱领域，包括箱体和箱盖，箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽，安置槽内壁固定有缓冲层，安置槽底部固定有多个承重梁，箱体开口周侧开设有多个与安置槽连通的预设槽，承重梁远离安置槽底部的侧面高度高于预设槽底面。针对现有技术存在卸货不便的问题，本实用新型通过设置承重梁和预设槽，便于采用叉车将安置槽内的溅射靶材取出或放入。

主权项

1.一种溅射靶材输送箱，包括箱体（1）和箱盖（2），其特征在于，所述箱体（1）一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽（3），所述安置槽（3）内壁固定有缓冲层（4），所述安置槽（3）底部至少固定有一个承重梁（5），所述箱体（1）开口周侧开设有多个与所述安置槽（3）连通的预设槽（6），所述承重梁（5）远离所述安置槽（3）底部的侧面高度高于所述预设槽（6）底面。