[实用新型]一种平板显示溅射靶材有效
| 申请号： | 201822060625.3 | 申请日： | 2018-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN209537610U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张小伟;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹（上海）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平板显示溅射靶材，涉及溅射靶材领域，包括背板和靶材，背板和靶材之间填充有焊料层，焊料层内嵌设有用于固定背板和靶材之间距离的定位件，定位件同时与背板和靶材抵接。针对现有技术存在靶材与背板难以确保平行的问题，本实用新型在背板和靶材之间设置定位件，使背板和靶材之间的距离保持为定位件的厚度，从而确保背板和靶材平行，有效提高产品的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 定位件 溅射靶材 本实用新型 平板显示 焊料层 平行 固定背板 距离保持 抵接 内嵌 填充 加工 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示溅射靶材，包括背板（1）和靶材（2），其特征在于，所述背板（1）和靶材（2）之间填充有焊料层（3），所述焊料层（3）内嵌设有用于固定所述背板（1）和所述靶材（2）之间距离的定位件（4），所述定位件（4）同时与所述背板（1）和所述靶材（2）抵接。
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