[实用新型]一种吹砂装置有效
| 申请号： | 201822081638.9 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209551493U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王子民;苏川辉;方楷 | 申请（专利权）人： | 江西齐拓芯片科技有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C9/00;B24C5/04 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 田磊 |
| 地址： | 332000 江西省九江市九江经*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种吹砂装置，包括支架，支架的底部转动连接有竖直向上的转轴，支架的顶部连接有竖直向下的伸缩杆，转轴与伸缩杆位于同一轴线；转轴的顶端设置有下托盘，伸缩杆的底端转动设置有上托盘；下托盘的附近设置有喷砂头；喷砂头包括水平喷嘴、上喷嘴和下喷嘴，水平喷嘴水平朝向下托盘的外沿设置，上喷嘴竖直向下朝向上托盘上表面的外沿设置，下喷嘴竖直向上朝向下托盘下表面的外沿设置。本实用新型设置有水平喷嘴61，可以将硅片边缘也抛光，使硅片边缘的应力会变得均匀，硅片更坚固。 | ||
| 搜索关键词： | 下托盘 水平喷嘴 伸缩杆 外沿 支架 转轴 本实用新型 吹砂装置 硅片边缘 竖直向上 竖直向下 喷砂头 上喷嘴 下喷嘴 托盘上表面 顶端设置 同一轴线 转动连接 转动设置 上托盘 下表面 抛光 硅片 底端 坚固 | ||
【主权项】：
1.一种吹砂装置，包括支架（1），其特征在于，所述支架（1）的底部转动连接有竖直向上的转轴（2），所述支架（1）的顶部连接有竖直向下的伸缩杆（3），所述转轴（2）与所述伸缩杆（3）位于同一轴线；所述转轴（2）的顶端设置有下托盘（4），所述伸缩杆（3）的底端转动设置有上托盘（5）；所述下托盘（4）的附近设置有喷砂头（6）；所述喷砂头（6）包括水平喷嘴（61）、上喷嘴（62）和下喷嘴（63），所述水平喷嘴（61）水平朝向所述下托盘（4）的外沿设置，所述上喷嘴（62）竖直向下朝向所述上托盘（5）上表面的外沿设置，所述下喷嘴（63）竖直向上朝向所述下托盘（4）下表面的外沿设置。
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