[实用新型]一种籽晶杆的可调式稳定装置有效
申请号: | 201822087569.2 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN209260255U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 姜剑;孙聂枫;孙同年;史艳磊;王书杰 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 王苑祥 |
地址: | 050000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型一种籽晶杆的可调式稳定装置,套装于晶体生长炉内的籽晶杆上,关键在于:包括套装在籽晶杆上的胀紧套,胀紧套外周面上均布有3‑6根螺杆,每个螺杆上螺纹连接有旋套,旋套的顶端设置有滚珠,滚珠与圆筒形炉腔内壁接触形成籽晶杆的支撑、稳定结构。通过在籽晶杆上加装胀紧套,并在胀紧套上设置可调式支撑稳定装置,使籽晶杆的运动平稳、同心度高。 | ||
搜索关键词: | 籽晶杆 胀紧套 可调式 稳定装置 滚珠 晶杆 螺杆 旋套 种籽 本实用新型 晶体生长炉 圆筒形炉腔 顶端设置 内壁接触 同心度高 稳定结构 支撑稳定 上螺纹 加装 均布 外周 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种籽晶杆的可调式稳定装置,套装于晶体生长炉内的籽晶杆(1)上,其特征在于:包括套装在籽晶杆(1)上的胀紧套(2),胀紧套(2)外周面上均布有3‑6根螺杆(8),每个螺杆(8)上螺纹连接有旋套(5),旋套(5)的顶端设置有滚珠(6),滚珠(6)与圆筒形炉腔内壁接触形成籽晶杆(1)的支撑、稳定结构。
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