[实用新型]一种抽真空装置及层压系统

摘要

本实用新型实施例提供的一种抽真空装置及层压系统，其中抽真空装置包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路，每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通，且每组所述支路包括真空缓存器；第一管路，其第一端与所述抽真空设备连通，第二端与所述真空缓存器连通；第二管路，其第一端与所述真空缓存器连通，第二端与待抽真空的所述腔室连通。真空缓存器内保持一定的真空度可降低抽真空过程中由于抽真空设备的电压、电流的波动影响，由于每组支路上均设有真空缓存器，并且每组支路的抽真空是相互独立的，不同的腔室真空度不一致时不会对其他腔室的抽真空动作造成波动，不同的腔室之间不会互相干扰，抽真空过程快速稳定，效率较高。

主权项

1.一种抽真空装置，其特征在于，包括抽真空设备以及与所述抽真空设备的吸入端连通的多组支路，每组所述支路适于与待抽真空的腔室连通，且每组所述支路包括真空缓存器(1)；第一管路，其第一端与所述抽真空设备连通，第二端与所述真空缓存器(1)连通；第二管路，其第一端与所述真空缓存器(1)连通，第二端与待抽真空的所述腔室连通。