[实用新型]一种用于金属掩膜板的清洗系统有效
| 申请号： | 201822091026.8 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209156573U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 湖北浚山光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00;B08B15/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 饶卓识 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板的清洗系统，包括封闭的车间，车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，其特征是：车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽；本实用新型清洗效率更高，清洗效果更好，运行成本低，适用于对现有金属掩膜板清洗机的改进。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩膜板 清洗槽 清洗系统 本实用新型 机械手 纵向梁 车间 吊具 平移 酒精清洗 清洗技术 清洗效果 清洗效率 运行成本 清洗机 脱水槽 鼓泡 升降 装载 封闭 改进 | ||
【主权项】：
1.一种用于金属掩膜板的清洗系统，包括封闭的车间，车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，其特征是：车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽。
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