[实用新型]OLED点源及线源的真空高温清洁装置有效
| 申请号： | 201822091892.7 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN209045507U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 湖北浚山光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L51/56 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 饶卓识 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及OLED点源及线源的真空高温清洁装置,具有箱体，箱体上部设有真空腔，下部设有抽真空组件和电控箱，抽真空组件与真空腔连接，真空腔的前端设有门框，箱体上部前端设有与真空腔前端门框相匹配的真空腔门，真空腔门上设有密封圈，所述门框四周或真空腔门四周或门框和真空腔门四周设有一圈冷却水套，冷却水套的进出口与外部冷却水源连通，真空腔门与箱体活动连接，真空腔内壁上设有加热组件，电控箱与抽真空组件和加热组件连接；本实用新型结构设计简单新颖，操作方便，使用效果好，能保证加热温度和真空度，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔 门框 抽真空组件 本实用新型 加热组件 冷却水套 清洁装置 箱体上部 真空高温 电控箱 点源 线源 密封圈 活动连接 冷却水源 内壁 加热 连通 匹配 进出口 外部 保证 | ||
【主权项】：
1.OLED点源及线源的真空高温清洁装置,其特征在于：具有箱体，箱体上部设有真空腔，下部设有抽真空组件和电控箱，抽真空组件与真空腔连接，真空腔的前端设有门框，箱体上部前端设有与真空腔前端门框相匹配的真空腔门，真空腔门上设有密封圈，所述门框四周或真空腔门四周或门框和真空腔门四周设有一圈冷却水套，冷却水套的进出口与外部冷却水源连通，真空腔门与箱体活动连接，真空腔内壁上设有加热组件，电控箱与抽真空组件和加热组件连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北浚山光电有限公司，未经湖北浚山光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822091892.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
