[实用新型]用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件

摘要

本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。

主权项

1.一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件，其特征在于所述汽化器组合件包括：/n多器皿主体组合件，其包含至少纵向附接的第一器皿主体和第二器皿主体，所述器皿主体具有共同纵向轴线且界定所述多器皿主体组合件的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有由侧壁和器皿主体边沿开口界定的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有所述器皿主体的内径且具有内部侧壁表面；/n基座部件，其安置于所述第一器皿主体下方且封闭所述第一器皿主体的底部开口；/n盖部件，其安置于所述第二器皿主体的所述边沿开口上，所述第二器皿主体安置于所述第一器皿主体的所述边沿开口上；/n气体入口和气体出口，其经布置成与所述多器皿主体组合件的所述内部体积流体连通，所述气体入口适于将第一气体供应到所述多器皿主体组合件的所述内部体积；以及/n多个通风支撑托盘，其具有托盘圆周侧壁，所述托盘圆周侧壁安置于所述内部体积内且与所述多器皿主体组合件的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含第一组托盘，所述第一组托盘安置于所述第一器皿主体内且在安置于所述第二器皿主体内的第二组托盘下方，其中所述第一组托盘中的每一个具有大于所述第二组托盘的第二托盘侧壁高度的第一托盘侧壁高度，所述多个所述支撑托盘适于支撑在所述气体入口与所述气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料。/n