[实用新型]一种可调节的基片装夹机构有效
| 申请号： | 201822106691.X | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN209456561U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调节的基片装夹机构，包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹在相邻的两个挂钩组件的挂钩上，整个基片装夹机构通过上部连接框架、下部连接框架安装在镀膜腔内。本实用新型采用外框统一、内部调整的方式，在生产过程中不需要更换夹具就能实现不同产品的安装，可以适用不同的基片规格，通过调整挂钩组件可以把间隙调整到很小，减少了工件之间的无效区域，挂钩组件同时也起到了配重的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 连接框架 挂钩组件 装夹机构 挂杆 圆杆 本实用新型 可调节 夹具 活动连接 间隙调整 生产过程 无效区域 挂钩 镀膜腔 配重 外框 装夹 统一 | ||
【主权项】：
1.一种可调节的基片装夹机构，其特征在于：包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹在相邻的两个挂钩组件的挂钩上，整个基片装夹机构通过上部连接框架、下部连接框架安装在镀膜腔内。
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