[实用新型]一种溅射阴极匀气装置

摘要

本实用新型公开了一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。本实用新型通过在溅射阴极长度方向两边布置匀气管，外部通过单独的气体流量控制器来控制每一段匀气管的气体流量，对溅射阴极上中下各位置进行工艺气体流量补偿，进而来提高或者降低阴极区域等离子体浓度，提高产品的质量。