[实用新型]用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构有效
| 申请号： | 201822121347.8 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209533061U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;曹建伟;傅林坚;周锋;卢嘉彬;严浩;刘文涛;沈文杰 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/08 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体加工设备技术领域，特别涉及一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构。包括齿轮箱；齿轮箱固设在底板上，齿轮箱旁侧还设有驱动电机，驱动电机上连接有主皮带轮；主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内，底端连接蜗轮蜗杆机构，中部外设有支撑套，顶部连接托盘；托盘与支撑套间设有动压轴承座，动压轴承装设在动压轴承座上；从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端，从动皮带轮与主动皮带轮通过皮带连接；支撑套与动压轴承座上开有相互连通的进出油孔，形成进出油路。本实用新型相比于以往的交叉滚子轴承，这种动压轴承与动压轴承座之间的油膜厚度均匀，稳定性好，承载能力大，且运行平稳，加工精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 动压轴承 轴承座 动压 齿轮箱 本实用新型 从动皮带轮 双面研磨机 驱动电机 支撑结构 支撑套 精密 半导体加工设备 底板 交叉滚子轴承 蜗轮蜗杆机构 主动皮带轮 托盘 承载能力 厚度均匀 进出油孔 进出油路 连接托盘 皮带连接 旋转轴承 键连接 皮带轮 齿轮 底端 尾端 蜗杆 油膜 连通 支撑 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构，其特征在于，包括动压轴承、主轴、蜗轮蜗杆机构与齿轮箱；所述齿轮箱固设在底板上，齿轮箱旁侧还设有驱动电机，驱动电机上连接有主皮带轮；所述主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内，底端连接蜗轮蜗杆机构，中部外设有支撑套，顶部连接托盘；托盘与支撑套间设有动压轴承座，动压轴承装设在动压轴承座上；从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端，从动皮带轮与主动皮带轮通过皮带连接；支撑套与动压轴承座上开有相互连通的进出油孔，形成进出油路。
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