[实用新型]溅射阳极罩和溅射装置有效
| 申请号： | 201822123930.2 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209778982U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李仕军;高文波 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 44327 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种溅射阳极罩和溅射装置，其中，溅射阳极罩包括罩体以及冷却装置，冷却装置包括冷却管，冷却管贴附于罩体上。本实用新型溅射阳极罩通过设置冷却装置，使得冷却管贴附在罩体上，则在溅射过程中，冷却管能够带走罩体的大部分或者几乎全部的热量，则能够有效的防止溅射阳极罩成为热源，避免溅射阳极罩的热辐射造成基材的温升，从而提高基体镀膜的均匀性及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却管 罩体 冷却装置 本实用新型 贴附 溅射装置 均匀性 热辐射 热源 镀膜 基材 溅射 温升 | ||
【主权项】：
1.一种溅射阳极罩，其特征在于，包括：/n罩体；以及/n冷却装置，包括冷却管，所述冷却管贴附于所述罩体上。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东生波尔光电技术有限公司，未经广东生波尔光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822123930.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具
- 下一篇：一种蒸发溅射两用真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
