[实用新型]一种发光二极管承片台安装结构有效
申请号: | 201822125150.1 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209590209U | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 王胜利;李景均;杨应俊 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种发光二极管承片台安装结构。包括,第一基座;第二基座,通过第一滑轨连接于第一基座,同时通过第二滑轨连接于第一基座;所述第一滑轨平行于第二滑轨,所述第一滑轨和第二滑轨限定第二基座仅能够沿方向a相对于第一基座运动;第一驱动部,安装于第一基座;第一丝杆,安装于第二基座;所述第一丝杆与第一驱动部连接,在第一驱动部作用下,所述第一丝杆驱动所述第二基座相对于第一基座沿方向a运动;承片台,用于放置待测试的发光二极管晶圆,在第二基座远离第一基座的一侧转动连接;第二驱动部,安装于第二基座,通过皮带连接于承片台,使承片台能够相对于第二基座沿θ轴转动;第二驱动部位于第一滑轨和第二滑轨之间。 | ||
搜索关键词: | 滑轨 承片台 驱动 发光二极管 第一丝杆 安装结构 滑轨连接 本实用新型 基座运动 皮带连接 转动连接 轴转动 晶圆 平行 测试 | ||
【主权项】:
1.一种发光二极管承片台安装结构(100),其特征在于:包括, 第一基座(20);第二基座(30),通过第一滑轨(21)连接于第一基座(20),同时通过第二滑轨(22)连接于第一基座(20);所述第一滑轨(21)平行于第二滑轨(22),所述第一滑轨(21)和第二滑轨(22)限定第二基座(30)仅能够沿方向a相对于第一基座(20)运动;第一驱动部(41),安装于第一基座(20);第一丝杆(42),安装于第二基座(30);所述第一丝杆(42)与第一驱动部(41)连接,在第一驱动部(41)作用下,所述第一丝杆(42)驱动所述第二基座(30)相对于第一基座(20)沿方向a运动;承片台(50),用于放置待测试的发光二极管晶圆,在第二基座(30)远离第一基座(20)的一侧转动连接;第二驱动部(61),安装于第二基座(30),通过皮带(62)连接于承片台(50),使承片台(50)能够相对于第二基座(30)沿θ轴转动;所述第二驱动部(61)位于第一滑轨(21)和第二滑轨(22)之间。
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