[实用新型]一种单体镀膜机的水冷系统有效
申请号: | 201822127191.4 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209456562U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请(专利权)人: | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 411100 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单体镀膜机的水冷系统,包括旋转鼓,旋转鼓上端板连接旋转轴,旋转轴与真空室壁通过磁流体密封装置密封,下端板上连接有支撑轴,旋转轴为空心轴,其中空部设有进水管,进水管与旋转轴之间形成出水通道,在真空室内的旋转轴末端通过端盖封闭,其上设有与进水管连通的主进水口以及与出水通道连通的主出水口,在上端板上还固定有分水盘,分水盘上设有第一环形水槽和第二环形水槽,第一环形水槽与主进水口连通,第二环形水槽与主出水口连通,贴近挂板内壁设有一圈内围板,在内围板背面固定有多段水冷管,水冷管的进水端、出水端分别通过金属软管连接第一环形水槽、第二环形水槽。本实用新型提高了冷却效果、减小了漏水的风险。 | ||
搜索关键词: | 环形水槽 旋转轴 连通 进水管 本实用新型 出水通道 水冷系统 主出水口 主进水口 镀膜机 分水盘 上端板 水冷管 旋转鼓 磁流体密封装置 连接旋转轴 背面固定 金属软管 冷却效果 真空室壁 出水端 进水端 空心轴 内围板 下端板 支撑轴 端盖 多段 挂板 减小 空部 漏水 内壁 围板 密封 室内 封闭 | ||
【主权项】:
1.一种单体镀膜机的水冷系统,包括置于真空室内的旋转鼓,所述旋转鼓整体呈圆柱形,包括上端板、下端板以及柱面用于安放工件的挂板,上端板连接旋转轴,旋转轴伸出真空室外,旋转轴与真空室壁通过磁流体密封装置密封,下端板上连接有支撑轴,其特征在于:所述旋转轴为空心轴,在旋转轴中空部设有进水管,进水管外壁与旋转轴内壁之间形成出水通道,在真空室内的旋转轴末端通过端盖封闭,进水管固定在端盖上,在端盖上设有与进水管连通的主进水口以及与出水通道连通的主出水口,在上端板上还固定有分水盘,分水盘上设有第一环形水槽和第二环形水槽,第一环形水槽通过进水软管与主进水口连通,第二环形水槽通过出水软管与主出水口连通,贴近挂板内壁设有一圈内围板,在内围板背面固定有多段水冷管,水冷管呈S型均匀分布在内围板上,每段水冷管的进水端通过金属软管连接设置在第一环形水槽上的分进水口,出水端通过金属软管连接设置在第二环形水槽上的分出水口。
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