[实用新型]一种防止烧结DBC半导体基板氮气炉炉管变形的装置有效
| 申请号： | 201822133785.6 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209926855U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈书生;刘瑞生;田茂标;杨海蓉;游炯;周伟;曾洁;邓小燕;胡杰;龚俊红 | 申请（专利权）人： | 成都万士达瓷业有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L35/34 |
| 代理公司： | 51211 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 苏丹;郑发志 |
| 地址： | 611332 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止烧结DBC半导体基板氮气炉炉管变形的装置，其特征在于包括：高温氮气炉管、炉管支撑件、保温层，所述高温氮气炉内设置有多个炉管支撑件，所述高温氮气炉内设置有两根高温氮气炉管，所述炉管支撑件与高温氮气炉管相接触，所述炉管支撑件设置在保温层上。 | ||
| 搜索关键词： | 高温氮气炉 炉管 支撑件 保温层 半导体基板 本实用新型 烧结 变形的 氮气炉 | ||
【主权项】：
1.一种防止烧结DBC半导体基板氮气炉炉管变形的装置，其特征在于包括：高温氮气炉管（1）、炉管支撑件（2）、保温层（3），所述高温氮气炉内设置有多个炉管支撑件（2），所述高温氮气炉内设置有两根高温氮气炉管（1），所述炉管支撑件（2）与高温氮气炉管（1）相接触，所述炉管支撑件（2）设置在保温层（3）上。/n
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