[实用新型]一种带有自主减振机构的洁净设备有效
| 申请号： | 201822137230.9 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209530933U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈旭东;马建惠;顾中秋 | 申请（专利权）人： | 苏州安泰空气技术有限公司 |
| 主分类号： | B01L9/02 | 分类号： | B01L9/02;F16F15/027;F16F15/023 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 215122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有自主减振机构的洁净设备，包括机柜，以及设置于机柜内的操作平台，其特征在于：所述操作平台上设有自主减振机构，该自主减振机构包括支架、减振台面、气囊组件以及PLC控制器，所述操作平台上开设有安装孔，所述气囊组件通过所述安装孔支撑所述减振台面，所述气囊组件安装于所述支架上，所述支架底部设置于地面上。本实用新型通过自主减振机构中的气囊组件为减振台面提供平稳的作业平台，实现0.1μm的振动幅度，符合精密设备对稳定度的要求，提高实验、检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 减振机构 气囊组件 操作平台 台面 减振 支架 本实用新型 洁净设备 安装孔 机柜 精密设备 振动幅度 作业平台 稳定度 检测 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种带有自主减振机构的洁净设备，包括机柜，以及设置于机柜内的操作平台，其特征在于：所述操作平台上设有自主减振机构，该自主减振机构包括支架、减振台面、气囊组件以及PLC控制器，所述操作平台上开设有安装孔，所述气囊组件通过所述安装孔支撑所述减振台面，所述气囊组件安装于所述支架上，所述支架底部设置于地面上。
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