[实用新型]微悬臂梁高阶谐振态控制机构及其原子力显微镜有效
| 申请号： | 201822142277.4 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209387685U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王艳艳;贺思汉;边琰 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 李薇 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了微悬臂梁高阶谐振态控制机构及其原子力显微镜，所述高阶谐振态控制机构包括微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元和控制模块，其中：所述微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元包括用于获取微悬臂梁当前谐振阶数的扫频测试模块、用于激励所述微悬臂梁震动的高阶谐振激励模块和用于记录并存储所述微悬臂梁振幅和相位值的高阶谐振响应模块；所述扫频测试模块和高阶谐振激励模块分别与所述控制模块通讯连接，所述高阶谐振响应模块通过AFM控制器与所述控制模块通讯连接。本实用新型可大大提高AFM的扫描速度，可根据需求设定微悬臂梁谐振阶数。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 高阶 控制模块 谐振态 原子力显微镜 本实用新型 谐振 测试模块 通讯连接 谐振激励 谐振模态 谐振响应 阶数 扫频 需求设定 控制器 检测 存储 扫描 震动 记录 | ||
【主权项】：
1.原子力显微镜用微悬臂梁高阶谐振态控制机构，其特征在于，包括微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元和控制模块，其中：所述微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元包括用于获取微悬臂梁当前谐振阶数的扫频测试模块、用于激励所述微悬臂梁震动的高阶谐振激励模块和用于记录并存储所述微悬臂梁振幅和相位值的高阶谐振响应模块；所述扫频测试模块和高阶谐振激励模块分别与所述控制模块通讯连接，所述高阶谐振响应模块通过AFM控制器与所述控制模块通讯连接。
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