[实用新型]等离子体增强化学气相沉积用电极装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积用电极装置，其包括气盒机构及电极机构，气盒机构包括呈中空结构的气盒体，中空结构形成气腔，气盒体呈矩形结构，气盒体的顶面中心处开设有与气腔连通的进气口，气盒体的底面呈平行的等间距设置有隔板，相邻两隔板之间的气盒体的底面贯穿开设有与气腔连通的呈条状的出气口，出气口之间呈平行的等间距设置，相邻两隔板之间形成电离腔，电极机构包括承载体，承载体上呈平行且等间距的延伸出与所述电离腔对应的电极条，电极条对应悬置于电离腔中；工作时，隔板与电极条分别接通不同的电极，从而二者之间形成电离气体的电场，进而使得在基板上形成一层均匀的沉积层，结构简单且易于制造和使用。

主权项

1.一种等离子体增强化学气相沉积用电极装置，其特征在于，包括气盒机构及电极机构，所述气盒机构包括呈中空结构的气盒体，所述中空结构形成气腔，所述气盒体呈矩形结构，所述气盒体的顶面中心处开设有与所述气腔连通的进气口，所述气盒体的底面呈平行的等间距设置有隔板，相邻两所述隔板之间的所述气盒体的底面贯穿开设有与所述气腔连通的呈条状的出气口，所述出气口之间呈平行的等间距设置，相邻两所述隔板之间形成电离腔，所述电极机构包括承载体，所述承载体上呈平行且等间距的延伸出与所述电离腔对应的电极条，所述电极条对应悬置于所述电离腔中。