[实用新型]多孔石英导管及石英导管组有效
| 申请号： | 201822149988.4 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209493323U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 林秀岩 | 申请（专利权）人： | 宁波比亚迪半导体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 黄章辉 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于石英导管技术领域，涉及一种多孔石英导管及石英导管组。该多孔石英导管包括导气管段以及连接在所述导气管段一端且与所述导气管段连通的连接管段，所述导气管段的侧壁上设置有多个通孔，多个所述通孔的内部开口与所述导气管段的内孔相通多个所述通孔的外部开口的朝向一致；所述连接管段用于与另外的所述多孔石英导管的导气管段连接。该多孔石英导管可调整通入反应腔室的气体到达底硅片表面的角度，还可一定程度降低进入气体的流速，从而降低反应腔室内扰流的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 导气管 多孔石英 导管 石英导管 通孔 管段 本实用新型 朝向一致 反应腔室 硅片表面 内部开口 外部开口 段连接 反应腔 可调整 侧壁 内孔 扰流 连通 相通 室内 | ||
【主权项】：
1.一种多孔石英导管，其特征在于，包括导气管段以及连接在所述导气管段一端且与所述导气管段连通的连接管段，所述导气管段的侧壁上设置有多个通孔，多个所述通孔的内部开口与所述导气管段的内孔相通，多个所述通孔的外部开口的朝向一致；所述连接管段用于与另外的所述多孔石英导管的导气管段连接。
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