[实用新型]一种高真空冷泵装置有效
| 申请号： | 201822150305.7 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209261756U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 柳云兴 | 申请（专利权）人： | 江苏深绿新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/06 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214423 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），隔热套管组件（3），进液管（4），出液管（5），固定支撑（6）和保温层（7），所述冷泵内组件（2）及固定支撑（6）均设置在外壳体组件（1）内部，所述保温层（7）设置在外壳体组件（1）外侧，所述外壳体组件（1）外侧的进液管（4）及出液管（5）外围均套设隔热套管组件（3），当壳体内被抽成一定真空度后，被抽产品（C）的真空度已经很难再提高，此时通过进液管（4）通入液氮，迅速降低壳体内空间的温度，降低了压力，使被抽产品（C）中的残余气体迅速进入壳体，最终被真空泵机组（A）抽走。本装置大大提高了被抽产品的真空度，同时又大幅度缩短了抽真空的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 外壳体组件 冷泵 进液管 隔热套管 固定支撑 保温层 出液管 高真空 内组件 真空泵机组 残余气体 体内空间 抽真空 壳体 液氮 体内 外围 | ||
【主权项】：
1.一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述装置包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），进液管（4）和出液管（5）；所述外壳体组件（1）包括冷泵壳体（15）；所述冷泵内组件（2）设置于冷泵壳体（15）内，所述冷泵内组件（2）与进液管（4）和出液管（5）连通；所述冷泵内组件（2）包括多个储液包（21）和多段冷盘管（24），储液包（21）和冷盘管（24）交错连接，相邻两个储液包（21）之间设置有支撑管（22）；所述冷泵壳体（15）上设置有进气口（d）和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口（d）用于连接被抽产品。
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