[实用新型]一种用于拾取微型芯片的吸嘴装置及分选装置

摘要

本实用新型涉及一种用于拾取微型芯片的吸嘴装置。它包括有上下贯通的吸嘴，吸嘴内设有若干条相互独立且贯穿吸嘴上下两端的气道，各气道在吸嘴下端的开口呈m*n矩阵状分布，该矩阵的行列之间的间距与LED芯片在载具上的分布相同，而各气道在吸嘴上端的开口呈矩阵状分布，吸嘴的上端罩设有真空罐体，真空罐体与外接气泵连接，使其内部处于接近真空的状态，所述的真空罐体内且位于各气道的上端开口处均设有的阀体，各气道的通气量可通过调节对应阀体与气道的上端开口间隙来改变。气道上开口的通气间隙决定其下开口处的吸力。这样本实用新型可以一次吸取m*n矩阵范围内的符合拾取要求的芯片，大大提高了拾取效率。

主权项

1.一种用于拾取微型芯片的吸嘴装置，包括有上下贯通的吸嘴（1），其特征在于：所述的吸嘴（1）内设有若干条相互独立且贯穿吸嘴（1）上下两端的气道（11），各气道（11）在吸嘴（1）下端的开口呈m*n矩阵状分布（m≥2，n≥1，m、n取整数），而各气道（11）在吸嘴（1）上端的开口呈1*k或2*k/2矩阵状分布（k=m*n），吸嘴（1）的上端罩设有密闭的真空罐体（2），所述的真空罐体（2）内且位于各气道（11）的上端开口处均设有的阀体（3），各气道（11）的通气量可通过调节对应阀体（3）与气道（11）的上端开口间隙来改变。