[实用新型]一种光学滤波器件有效
| 申请号： | 201822166503.2 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209514114U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孟彦龙;李裔;裘燕青 | 申请（专利权）人： | 杭州菲柏斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市下沙经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种光学滤波器件，该器件由衬底(1)、含有光学狭缝的过渡金属氮化物(2)和光学匹配层(3)构成。通过设计各层的厚度、狭缝的宽度以及整体结构的周期性，可以实现不同波长的选择性透过特性，并且透过光谱具有较窄的半峰宽，具有较高的波长选择性。该器件通过低成本的过渡金属氮化物材料实现波长选择功能，能够替代基于贵金属的传统滤波器件，有利于滤波器件的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 过渡金属氮化物 光学滤波器 波长选择功能 波长选择性 传统滤波器 选择性透过 光学狭缝 滤波器件 贵金属 半峰宽 低成本 匹配层 波长 衬底 光谱 狭缝 替代 | ||
【主权项】：
1.一种光学滤波器件，其特征在于包含了由衬底(1)、过渡金属氮化物(2)和光学匹配层(3)，其中过渡金属氮化物(2)制备在衬底(1)上面并且中间有宽度为W凹槽，光学匹配层(3)覆盖在过渡金属氮化物(2)上并将凹槽填充，整体结构沿垂直凹槽的方向以周期p排列。
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