[实用新型]用于对电极调温的系统以及处理设备有效
申请号: | 201822167758.0 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN209119039U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | C·伯姆;S·拉施克 | 申请(专利权)人: | 迈尔博尔格(德国)有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 刘盈 |
地址: | 德国霍恩施泰*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种用于对电极调温的系统。为了提供一种改善的用于对电极调温的系统和一种具有这样的系统的处理设备,本实用新型提出:所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置。在此,所述热导管适合于至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中。所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部,而调温装置适合于加热或冷却耦合元件。在此,所述电极和所述调温装置相互电分离。本实用新型还涉及一种处理设备,所述处理设备具有处理室和至少一个在处理室之内的电极以及至少一个这种用于对电极调温的系统。通过本实用新型保证在调温装置和电极之间的良好电解耦并且避免或减少现存的调温系统的其他缺点。 | ||
搜索关键词: | 本实用新型 处理设备 调温装置 电极 对电极 调温 耦合元件 热导管 加热 冷却 第二端部 第一端部 调温系统 电分离 电解耦 保证 | ||
【主权项】:
1.用于对电极调温的系统,所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置,其中,所述热导管能至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中,所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部,并且调温装置适合于加热或冷却耦合元件,其中,所述电极和所述调温装置相互电分离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迈尔博尔格(德国)有限公司,未经迈尔博尔格(德国)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201822167758.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种改进的法拉第杯结构
- 下一篇:半导体设备