[实用新型]一种用于承载衬底基片的装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于承载衬底基片的装置，包括石墨基座和石墨支撑环，石墨基座的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽，石墨基座的底部设有用于和石墨支撑环连接的环形插头，环形插头设有多个卡头，石墨支撑环的顶部设有环形台阶部，环形台阶部的侧壁上设有多个卡口，环形插头正好伸入侧壁内且环形插头的卡头伸入卡口内，环形台阶部的底壁支撑石墨基座。石墨基座和石墨支撑环通过卡头插入相适配的卡口的配合以及环形插头放置在环形台阶部上，由于卡头的上底边与石墨基座的连接面积增大，卡头侧面为斜面应力小，实现了增强卡头的强度的效果，在高温恶劣的环境中旋转不易破损或断裂，达到了旋转稳定使用寿命长。

主权项

1.一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述用于承载衬底基片的装置包括石墨基座(1)和用于与驱动装置连接的石墨支撑环(2)，石墨基座(1)的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽(11)，多个圆形凹槽(11)间隔均匀地环形排列，石墨基座(1)的底部设有用于和石墨支撑环(2)连接的环形插头(12)，环形插头(12)设有多个卡头(121)，石墨支撑环(2)的顶部设有用于支撑石墨基座(1)且对石墨基座(1)限位的环形台阶部(21)，环形台阶部(21)的侧壁(211)上设有多个卡口(212)，环形插头(12)正好伸入侧壁(211)内且环形插头(12)的卡头(121)伸入卡口(212)内，环形台阶部(21)的底壁(213)和环形插头(12)的底面接触并支撑石墨基座(1)。