[实用新型]条纹锁定式全息干涉光刻系统

摘要

本实用新型属于信息光学技术领域，为解决全息光刻系统中条纹漂移问题，提出一种条纹锁定式全息干涉光刻系统，第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器；第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号，该光强信号传输到单片机，PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端；PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器，第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号，将反馈信号传送给第一超声波发生器，驱动第一声光调制器的‑1级衍射光的相位发生变化，从而锁定莫尔条纹的相位。

主权项

1.条纹锁定式全息干涉光刻系统，其特征在于包括：激光器(1)，光束取样光栅(2)，半波片(3)，分束棱镜(4)，第一平面反射镜(5)、第二平面反射镜(6)、第三平面反射镜(7)，第一声光调制器(8)、第一超声波发生器(21)、第二声光调制器(9)，第二超声波发生器(22)，第一空间滤波器(10)、第二空间滤波器(11)，第一准直透镜(12)、第二准直透镜(13)，待曝光的光栅基板(14)、参考光栅(15)、第一高速光电探测器(17)、第二高速光电探测器(18)、PID控制器(20)、单片机(19)；所述的参考光栅设置在待曝光的光栅基板上，且参考光栅表面与待曝光的光栅基板表面在同一平面内；激光器发出的光经过光束取样光栅，其0级透射衍射光进入分束棱镜分成透射光束和反射光束，其中透射光束经过半波片，再经第一平面反射镜、第二平面反射镜，进入第一声光调制器，第一声光调制器的‑1级衍射光进入第一空间滤波器，然后经过第一准直透镜，扩束成平行光，最后投射到待曝光的光栅基板和参考光栅上；反射光束经过第三平面反射镜，进入第二声光调制器，第二声光调制器的‑1级衍射光进入第二空间滤波器，然后经过第二准直透镜，扩束成平行光，最后投射到待曝光的光栅基板和参考光栅上；透射光束和反射光束在待曝光的光栅基板表面上干涉，同时透射光束和反射光束的干涉光场在参考光栅上形成一幅虚拟光栅，该虚拟光栅与参考光栅形成莫尔条纹(16)；上述的莫尔条纹投射到第一高速光电探测器上，其光强信号同时传输到单片机的第一输入端和PID控制器的信号输入端；激光器发出的光经过光束取样光栅，其1级反射衍射光进入第二高速光电探测器，其光强信号传输到单片机的第二输入端，PID控制器的信号输出端传输至第一超声波发生器的频率调制输入端；第一超声波发生器的输出端与第一声光调制器输入端连接，第二超声波发生器的输出端与第二声光调制器输入端连接。