[实用新型]一种磁控溅射镀膜机冷却装置有效
| 申请号： | 201822184409.X | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209338653U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋贵霞;贾建国 | 申请（专利权）人： | 昆山英利悦电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜机冷却装置，所述装置包括冷却背板和铺设有多个冷却水管的冷却室，所述冷却背板和永磁体相对应的位置设置有软磁体段，增强了靶材表面的磁场强度，提高了磁控溅射镀膜的效率，所述冷却水管呈迂回状铺设于冷却室中，部分冷却水管经过永磁体间隙，提高了对靶材和永磁体的冷却性能。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却水管 永磁体 磁控溅射镀膜机 冷却背板 冷却装置 冷却室 铺设 磁控溅射镀膜 本实用新型 靶材表面 冷却性能 软磁体 迂回状 对靶 磁场 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射镀膜机冷却装置，其特征在于，包括设置于镀膜机靶材下方的冷却背板、设置于冷却背板和永磁体组之间的冷却室；所述冷却室内设置有多个冷却水管道，所述冷却水管道包括平铺的第一冷却水管道，以及经过永磁体组间隙处的第二冷却水管道。
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