[实用新型]一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置

摘要

本实用新型涉及一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置，设置在直拉单晶炉底部，包括防漏容器和排气管，所示防漏容器为环绕直拉单晶炉大轴护套设置的槽状物，所示排气管包括相互连接的排气进口管道和排气出口管道，排气出口管道末端贯穿直拉单晶炉底，排气进口管道顶端排气入口连通直拉单晶炉内腔，排气进口管道倾斜向下。本实用新型的有益效果是：将炉内挥发物的混合气体排出，减少挥发物在炉膛排气管口的聚集与沉积；排气进口管道倾斜向下，排气入口处避免形成气体对流，涡流，能够快速顺畅的将气体排出；底部设有防漏容器，当发生漏硅现象时，可将溢出的硅液固定在防漏容器中，避免漏硅沿排气管道流出造成事故。

主权项

1.一种直拉硅单晶炉防漏硅的排气管道装置，设置在直拉单晶炉底部，其特征在于：包括防漏容器和排气管，所述防漏容器为环绕直拉单晶炉大轴护套设置的槽状物，所述排气管包括相互连接的排气进口管道和排气出口管道，所述排气出口管道末端贯穿所述直拉单晶炉底，所述排气进口管道顶端排气入口连通所述直拉单晶炉内腔，所述排气进口管道倾斜向下。