[实用新型]一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具

摘要

本实用新型提供了一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，属于半导体设备制造的技术领域。一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具包括放置于密封腔上且两侧带有底座的支架，支架上设置有螺旋传动机构，螺旋传动机构的丝杆上设置有扳手，且在丝杆上还螺纹套设有撬片，撬片的一侧伸出支架与上部盖板的侧壁上的凹槽配合，结构简单；本实用新型通过设置支架和螺旋传动机构，将小扭矩转化成沿丝杆轴向的大的轴向力，解决了由于密封圈老化，上部盖板和密封腔粘合而难以开启的问题，同时，通过丝杆的自锁功能，能防止上部盖板撬开后自动回位，安全保障性更高，并且无需借助工具便可单人手动操作，操作便捷，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。

主权项

1.一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，包括：支架和螺旋传动机构，其中，所述支架一侧面形状呈“几”字形设置，所述支架包括底座、侧板以及顶板，所述底座设置有两个，且两所述底座间隔设置，并且每一所述底座上分别设置有一垂直的所述侧板，两所述侧板的顶部设置有所述顶板，所述顶板的两端分别连接于两所述侧板上，并且所述顶板的中间开设有一通孔；所述螺旋传动机构包括丝杆、撬片以及扳手，所述丝杆一端穿过所述顶板上的所述通孔至所述顶板的下方，且所述丝杆穿过所述通孔的一端延伸至两所述底座形成的平面处，所述丝杆的轴线方向平行于所述侧板的同时还垂直于所述底座，并且所述丝杆上螺纹套设有一所述撬片，所述撬片位于所述顶板的下方，所述撬片的一侧伸出所述侧板的侧边，同时，在所述丝杆上且位于所述顶板的上方设置有所述扳手。