[实用新型]一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环有效

专利信息
申请号: 201822188638.9 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209364367U 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B41/00 分类号: B24B41/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环,包括行星轮框架以及修整环主体,修整环主体呈环状一体成型结构,修整环主体表面固结有金刚石颗粒层,修整环主体的圆周方向上设有若干条形槽以及半圆形凹槽,行星轮框架的周缘上设有半圆形凸起部,当修整环主体放置在所述行星轮框架上时,行星轮框架上的半圆形凸起部卡入修整环主体上的半圆形凹槽内,以使修整环主体固定在行星轮框架上。本实用新型将修整环主体制备为一体成型的环形结构,不会出现组装后的修整环的修整面呈现高低不同的现象,保证了修整环的平面度和厚度的一致性,使得抛光布的修整精度能够得到保证。
搜索关键词: 修整环 行星轮框架 抛光布 半圆形凹槽 半圆形凸起 本实用新型 双面抛光机 分体式 金刚石颗粒层 一体成型结构 一体成型的 环形结构 主体表面 平面度 条形槽 修整面 固结 卡入 修整 制备 组装 保证
【主权项】:
1.一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环,其特征在于,包括行星轮框架以及修整环主体,所述修整环主体呈环状一体成型结构,所述修整环主体表面固结有金刚石颗粒层,所述修整环主体的圆周方向上设有若干条形槽以及半圆形凹槽,所述行星轮框架的周缘上设有半圆形凸起部,所述半圆形凸起部的位置与所述半圆形凹槽的位置相应,当修整环主体放置在所述行星轮框架上时,所述行星轮框架上的半圆形凸起部卡入所述修整环主体上的半圆形凹槽内,以使所述修整环主体固定在所述行星轮框架上。
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