[实用新型]高温CVD设备

摘要

本实用新型公开了一种高温CVD设备，其包括：具有进气口和排气口的反应管，在反应管的外部设置依次有第一加热机构、第二加热机构和保温机构，在反应管的内部具有与第一加热机构、第二加热机构和保温机构分别对应形成的第一温度区域、第二温度区域和第三温度区域，以及，至少在第二加热机构与反应管之间还设置有冷却机构，在反应管内部还设置有隔热机构，且隔热机构与反应管的管壁之间具有间隙。本实用新型提供的高温CVD设备结合了不同的加热模式对反应设备进行加热，同时采用设置隔热机构防止高温对石英材质反应管外壁的损伤。

主权项

1.一种高温CVD设备，其特征在于包括：具有进气口和排气口的反应管，在所述反应管的外部设置依次有第一加热机构、第二加热机构和保温机构，在所述反应管的内部具有与第一加热机构、第二加热机构和保温机构分别对应形成的第一温度区域、第二温度区域和第三温度区域，所述第一加热机构至少能够加热并保持第一温度区域的温度为第一温度，所述第二加热机构至少能够加热并保持第二温度区域的温度为第二温度，所述保温机构至少能够保持第三温度区域的温度为第三温度，以及，至少在所述第二加热机构与所述反应管之间还设置有冷却机构，在反应管内部还设置有隔热机构，且所述隔热机构与所述反应管的管壁之间具有间隙；其中，所述第二温度大于第一温度，第三温度小于第一温度和/或第二温度。