[实用新型]CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统有效
| 申请号： | 201822193408.1 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209636313U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 李冬旭;杨建纯;魏乃光;黎建明;李文江 | 申请（专利权）人： | 有研国晶辉新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/52 |
| 代理公司： | 11100 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 倪中翔<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065201河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统，包括化学气相沉积炉，该化学气相沉积炉连接有压力智能监测表；该化学气相沉积炉顶部设有尾气管路，该尾气管路连接真空泵；该化学气相沉积炉与该真空泵之间的尾气管路上设置有线性定位阀门；该压力智能监测表与可编程PID智能调节仪的信号输入端连接，该可编程PID智能调节仪的信号输出端与该线性定位阀门连接。本实用新型通过控制整个化学气相沉积过程的压力，使实际压力始终保持在设定范围内，实现沉积系统的稳定性和可控性。 | ||
| 搜索关键词： | 化学气相沉积炉 尾气管路 线性定位 智能调节 智能监测 可编程 真空泵 压力自动控制系统 化学气相沉积 本实用新型 信号输出端 信号输入端 沉积系统 阀门连接 实际压力 可控性 硫化锌 有压力 阀门 制备 | ||
【主权项】：
1.一种CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统，其特征在于，包括化学气相沉积炉，该化学气相沉积炉连接有压力智能监测表；该化学气相沉积炉顶部设有尾气管路，该尾气管路连接真空泵；该化学气相沉积炉与该真空泵之间的尾气管路上设置有线性定位阀门；该压力智能监测表与可编程PID智能调节仪的信号输入端连接，该可编程PID智能调节仪的信号输出端与该线性定位阀门连接；所述线性定位阀门包括线性气动调节阀和定位器；所述定位器集成微处理器，与所述线性气动调节阀连接，该线性气动调节阀包括执行机构和阀体，该执行机构与该定位器连接，该阀体能改变阀体内部阀芯与阀座间的流通面积。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
