[实用新型]一种光学检测设备防震系统有效
| 申请号： | 201822195692.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209294315U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 李春风 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16F7/00 | 分类号： | F16F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种光学检测设备防震系统，其包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当手套箱被抽真空完成后，借助清洁气体供应装置向手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；刚性体与防震台相互独立、且围绕防震台的侧壁和底壁进行布置；手套箱放置于基台，且置物板正对应于防震台；置物板与手套箱、抽真空装置与手套箱以及清洁气体供应装置与手套箱之间均为柔性连接。这样一来，从根源上降低了基台、抽真空装置以及清洁气体供应装置的自身震动对光学检测设备造成的影响，从而提高了测量结果准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 手套箱 清洁气体 光学检测设备 供应装置 防震台 抽真空装置 基台 防震系统 刚性体 置物板 本实用新型 抽真空处理 柔性连接 抽真空 手套 侧壁 底壁 置物 震动 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测设备防震系统，其特征在于，包括：手套箱，其包括设置于底部的、用来放置光学检测设备的置物板；抽真空装置，用来对所述手套箱进行抽真空处理；清洁气体供应装置；当所述手套箱被抽真空完成后，借助所述清洁气体供应装置向所述手套箱内充入清洁气体；基台，其由防震台以及刚性体构成；所述刚性体与所述防震台相互独立、且围绕所述防震台的侧壁和底壁进行布置；所述手套箱放置于基台，且所述置物板正对应于所述防震台；所述置物板与所述手套箱、所述抽真空装置与所述手套箱以及所述清洁气体供应装置与所述手套箱之间均为柔性连接。
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