[实用新型]应用于LOW-K开槽设备的三轴联动精密平台

摘要

本实用新型涉及一种应用于LOW‑K开槽设备的三轴联动精密平台，包括有限位底座，限位底座通过主连接板连接Y轴运动装置，Y轴运动装置通过副连接板连接X轴运动装置，X轴运动装置通过铝板底座安装有旋转θ轴运动装置。由此，采用大理石底座，吸震性能良好，对加工中的应力变形较小，保证了导轨安装的平面度要求。运转的定位精度高，误差在1UM内。可以实现X、Y、θ三轴的运转调节，满足多角度、多空间的加工需要。整体构造简单，易于装配与维护，能够与目前常见的各类加工平台相匹配使用。

主权项

1.应用于LOW‑K开槽设备的三轴联动精密平台，包括有限位底座，其特征在于：所述限位底座通过主连接板(4)连接Y轴运动装置，所述Y轴运动装置通过副连接板(11)连接X轴运动装置，所述X轴运动装置通过铝板底座(13)安装有旋转θ轴运动装置；所述X轴运动装置包括X轴大理石底座(1)，所述X轴大理石底座(1)上安装有主直线导轨(2)，所述主直线导轨(2)的一侧设置有直线电机(3)，所述直线电机(3)的动子与主连接板(4)相连；所述Y轴运动装置包括有Y轴大理石底座(7)，所述Y轴大理石底座(7)上安装有副直线导轨(8)及直线电机磁钢(10)，所述Y轴大理石底座(7)上还安装有用于固定光栅尺的光栅固定条(9)；所述旋转θ轴运动装置包括有旋转DD马达(14)，所述DD马达(14)上连接有陶瓷吸附载台(15)，所述陶瓷吸附载台(15)上连接有钢环支架(16)；所述Y轴运动装置上安装有副光电限位开关(12)；限位底座上设置有防护组件，所述防护组件为主光电限位开关(6)与橡胶缓冲块(5)。