[实用新型]枚叶水平输送式的晶圆电镀装置

摘要

本实用新型公开枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，包括传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室；传动机构包括入料传送开口和出料传送开口，入料传送开口和出料传送开口底部均固定设置有第一电机和传动装置，传动装置上部固定设置有支撑板，传动装置与支撑板中部水平设置的传动辊联动；第一冲洗室和第三冲洗室均包括去离水箱，第二冲洗室。本实用新型通过设置传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室，使得晶圆被传动辊单方向进行传动，有效降低电镀化学品的设备和维护成本。

主权项

1.枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，其特征在于，包括传动机构(1)、第一冲洗室(2)、蚀刻室(3)、第二冲洗室(4)、第三冲洗室(5)、电镀室(6)、第四冲洗室(7)、第五冲洗室(8)、吹风室(9)和红外干燥室(10)；所述传动机构(1)包括入料传送开口(11)和出料传送开口(12)，所述入料传送开口(11)和出料传送开口(12)底部均固定设置有第一电机(13)和传动装置(14)，所述传动装置(14)上部固定设置有支撑板(15)，所述传动装置(14)与支撑板(15)中部水平设置的传动辊(16)联动；所述第一冲洗室(2)和第三冲洗室(5)均包括去离水箱(17)，第二冲洗室(4)、第四冲洗室(7)和第五冲洗室(8)均包括市水箱(18)，所述去离水箱(17)和市水箱(18)顶部均固定设置有第一固定架(19)，所述第一固定架(19)顶部中间位置两端均开设有螺纹滑槽(20)，所述螺纹滑槽(20)之间设置有相匹配的螺纹杆(21)，所述螺纹杆(21)顶部固定连接有第二电机(22)的输出轴；所述蚀刻室(3)包括药液箱(27)，所述药液箱(27)上方固定设置有第二固定架(28)，所述第二固定架(28)顶部固定设置有滑槽板(29)，所述滑槽板(29)中间位置固定设置有限位板(291)，所述滑槽板(29)内两端均固定设置有第一气泵(30)，所述第一气泵(30)输出端固定连接有第一伸缩杆(31)，所述第一伸缩杆(31)固定连接有滑块(32)；所述电镀室(6)包括槽体(38)，所述槽体(38)上方固定设置有阳极板(39)，所述阳极板(39)与槽体(38)之间固定设置有内密封环(40)，所述阳极板(39)顶部固定设置有电镀水槽(41)，所述电镀水槽(41)一侧固定设置有外密封环(42)；所述吹风室(9)包括第三固定架(43)，所述第三固定架(43)顶部和底部均固定设置有风刀底座(44)，所述风刀底座(44)之间固定设置有风刀口(45)，所述风刀口(45)顶部两侧分别固定设置有第一挡风板(46)和第二挡风板(47)；所述红外干燥室(10)包括第四固定架(50)，所述第四固定架(50)两侧表面贯穿设置有若干穿孔(51)，所述第四固定架(50)一侧固定设置有限位弹簧(52)，所述限位弹簧(52)上固定安装有弹性钮(53)，所述弹性钮(53)之间固定连接有加热灯管(54)，所述第四固定架(50)顶部固定设置有吊轨(55)，所述吊轨(55)底部滑动设置有鼓风机通管(56)；所述第一固定架(19)、第二固定架(28)、第三固定架(43)、第四固定架(50)和电镀水槽(41)之间均固定通过连接杆(61)相连接，第一喷嘴(26)与第二喷嘴(37)设置于同一水平线，所述第一固定架(19)、第二固定架(28)、第三固定架(43)、第四固定架(50)和电镀水槽(41)的底面均固定设置于支撑板(15)的顶部。