[实用新型]一种晶圆计数器有效
| 申请号： | 201822202015.2 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209401061U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘青 | 申请（专利权）人： | 精典电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/10 | 分类号： | G06M1/10 |
| 代理公司： | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于晓菁 |
| 地址： | 200131 上海浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种晶圆计数器，包括固定座、滑块、光电传感器、引导装置；于所述固定座的两端设置滑动槽，于所述滑动槽上设置滑块，于所述滑块上设置光电传感器和引导装置，所述光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别设置于两个所述滑块上，所述光电传感器同所述引导装置连接。本实用新型的有益效果为：该晶圆计数器可适配多种尺寸的晶圆盒，以便对多种尺寸的晶圆进行计数，降低了企业对晶圆的生产加工成本，此外，该计数器对晶圆进行计数的同时还可以对晶圆的放置正确与否进行检测，扩展了晶圆计数器的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 计数器 晶圆 光电传感器 滑块 引导装置 发射端 固定座 滑动槽 接收端 种晶 本实用新型 两端设置 生产加工 晶圆盒 适配 检测 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆计数器，包括固定座、滑块、光电传感器、引导装置，其特征在于：于所述固定座的两端设置滑动槽，于所述滑动槽上设置滑块，于所述滑块上设置光电传感器和引导装置，所述光电传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别设置于两个所述滑块上，所述光电传感器同所述引导装置连接。
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