[实用新型]一种12英寸单晶棒取棒运输装置有效
| 申请号： | 201822205934.5 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209321000U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 盖晶虎;王雅楠;秦瑞锋;杨高潮;戴小林;吴志强 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/02 | 分类号： | B62B3/02;B62B3/04;B62B5/00;B62B5/06;B62B5/04 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种12英寸单晶棒取棒运输装置。该装置包括取棒架、旋转装置、运输平台及控制系统，其中，取棒架和旋转装置设置在运输平台上，取棒架具有用于承载单晶棒等径部分的截面为半圆形的半圆管，在该半圆管下端的设有圆锥型的棒尾固定部，半圆管与棒尾固定部之间通过可拆卸的卡扣无缝连接；在该半圆管的开口部分设有多个用于固定单晶棒的锁扣；旋转装置与半圆管外壁连接，控制系统控制旋转装置，使半圆管在竖直位置和水平位置之间旋转。通过使用该12英寸单晶棒取棒运输装置，操作人员能够独立快速安全地将生长完好的单晶棒从单晶炉里面取出，该取棒运输装置不会对单晶棒某段内部造成应力过大的内伤；操作人员能够高效安全的转移单晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶棒 取棒 半圆管 运输装置 旋转装置 控制系统 运输平台 固定部 棒尾 控制旋转装置 本实用新型 高效安全 快速安全 竖直位置 无缝连接 单晶炉 可拆卸 圆锥型 等径 锁扣 外壁 开口 取出 承载 生长 | ||
【主权项】：
1.一种12英寸单晶棒取棒运输装置，其特征在于，包括取棒架、旋转装置、运输平台及控制系统，其中，取棒架和旋转装置设置在运输平台上，取棒架具有用于承载单晶棒等径部分的截面为半圆形的半圆管，在该半圆管下端的设有圆锥形的棒尾固定部，半圆管与棒尾固定部之间通过可拆卸的卡扣无缝连接；在该半圆管的开口部分设有多个用于固定单晶棒的锁扣；旋转装置与半圆管外壁连接，控制系统控制旋转装置，使半圆管在竖直位置和水平位置之间旋转。
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