[实用新型]乙硅烷制备装置有效
| 申请号： | 201822206839.7 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209522583U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;赵雄;严大洲;赵宇;郭树虎 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种乙硅烷制备装置。该乙硅烷制备装置包括：过滤单元、精馏单元和还原单元，过滤单元设置有多晶硅残液入口和滤液出口；精馏单元设置有滤液入口和氯代乙硅烷出口，滤液入口与滤液入口经滤液输送管路相连通；还原单元设置有加料口，加料口与氯代乙硅烷出口经氯代乙硅烷输送管路相连通，加料口也用于加入还原剂。以多晶硅残液为原料能够省去氯代乙硅烷的制备，大大降低制备成本。通过过滤单元将多晶硅残液中的固体杂质去除，得到滤液；通过蒸馏单元去除滤液中的有机杂质组分，得到氯代乙硅烷；使氯代乙硅烷与还原剂进行还原反应，得到乙硅烷。采用上述乙硅烷制备装置制备乙硅烷具有成本低，工艺流程短及乙硅烷纯度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 乙硅烷 氯代 制备装置 过滤单元 滤液入口 多晶硅 加料口 制备 还原单元 精馏单元 输送管路 还原剂 残液 固体杂质去除 本实用新型 残液入口 还原反应 滤液出口 有机杂质 蒸馏单元 工艺流程 去除 出口 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷制备装置，其特征在于，所述乙硅烷制备装置包括：过滤单元(10)，所述过滤单元(10)设置有多晶硅残液入口和滤液出口；精馏单元(20)，所述精馏单元(20)设置有滤液入口和氯代乙硅烷出口，所述滤液入口与所述滤液入口经滤液输送管路相连通；还原单元(30)，所述还原单元(30)设置有加料口，所述加料口与所述氯代乙硅烷出口经氯代乙硅烷输送管路相连通，所述加料口也用于加入还原剂。
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