[实用新型]超高真空用大行程精密压电位移台

摘要

本实用新型公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面。所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接。本实用新型公开的超高真空用大行程精密压电位移台，适用于超高真空与超低温环境，在保证行程方向运动的同时，避免在其他方向产生晃动，从而保证纳米级的绝对运动精度。

主权项

1.一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括位移台基座和与位移台基座相对位移的移动台面，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台还包括：所述位移台基座和移动台面之间设有两组交叉滚珠导轨组件，每组交叉滚珠导轨组件均设有两个相互耦合的交叉滚珠导轨，每组交叉滚珠导轨组件的其中一个交叉滚珠导轨与位移台基座固定连接，每组交叉滚珠导轨组件的另一个交叉滚珠导轨与移动台面固定连接，通过位于侧面的紧固螺丝调节交叉滚珠导轨组件相互绞合产生的预紧力；所述位移台基座和移动台面之间还设有蓝宝石片，所述蓝宝石片与移动台面固定连接；所述位移台基座的中部具有贯通腔，上述贯通腔内置有浮动滑块、蓝宝石球、铍铜片和至少一个压电陶瓷腿，各个压电陶瓷腿的上部与蓝宝石片相互接触并且滑动配合，各个压电陶瓷腿的下部与浮动滑块粘接，所述蓝宝石球部分内嵌于浮动滑块，所述蓝宝石球部分内嵌于铍铜片，所述铍铜片的两端端部同时与位移台基座固定连接，所述浮动滑块与铍铜片之间具有间隙。